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Quantum 2000
仪器编号:
20021587
仪器名称:
X射线扫描微探针电子能谱仪
  型号:
Quantum 2000
生产厂商:
美国Physical Electronics公司(PHI公司)
出厂年月:
2001年05月
 出厂号:
628603
购置年月:
2002年04月
  单价:
 
放置地点:
凌峰楼-101#

[机时申请表下载]
导师审核签字的申请表与样品一同递交能谱室

仪器管理组:

   汤丁亮, 0592-2184829(O), esca@xmu.edu.cn
   徐富春, 0592-2184829(O)
   岑丹霞, 0592-2184829(O)

  • 主要技术指标&应用
  • 主要附件
  • 参考文献
  • 测试须知

主要技术指标:

  • X-ray光源:Al阳极靶,扫描式单色器;
  • 束斑:10 µm~200 µm,一般100 µm~200 µm;
  • 能量分析仪:180°半球形分析器+16通道检测器,
  • 基础真空:<5×10-10 torr
  • 检测范围:原子序数大于He的所有元素;
  • 检测极限:0.5~0.01 atomic%
  • 信息深度:0.5~7.5 nm
  • 能量分辨率:优于0.5 eV(Ag);
  • 空间分辨率:优于10 µm
  • 半定量:相对原子灵敏度因子法

主要功能:

  1. 具有先进的自动电中和功能,可消除非导体样品的荷电位移影响;
  2. 仪器同时具有角分辩XPS功能及氩离子深度剖析功能;
  3. 具有元素影像扫描功能;
  4. 通过仪器附带的SPS工作台,可方便进行样品元素的化学微区分析(100~200 µm)。

应用范围:

  • 检测固体材料表面或纵深方向的元素组成及分布,通过元素结合能位置了解元素化学状态或键合状态。
  • 任何固体样品均可,但不得具有磁性、毒性、辐射性及易挥发性。
  1. 软件:Compass工作软件,Multipak数据处理软件;
  2. 氩离子枪,可进行样品表面清洁及深度剖析;
  3. SPS样品精密定位台,用于样品元素的化学微区分析